外腔激光器+超窄带滤光片--基于双干涉滤光片的超窄线宽外腔二极管激光器，结合双干涉滤波片且反馈范围可大幅调节
注：本文的干涉滤波器=干涉滤光片=滤光片**摘要** 外腔二极管激光器（ECDL）在激光光谱学、原子物理学以及量子光学领域作为光源被广泛应用。本研究展示了一款自制的具有可变反馈的852纳米外腔二极管激
注：本文的干涉滤波器=干涉滤光片=滤光片**摘要** 外腔二极管激光器（ECDL）在激光光谱学、原子物理学以及量子光学领域作为光源被广泛应用。本研究展示了一款自制的具有可变反馈的852纳米外腔二极管激
安德烈亚斯·米肖克1,2 ，伯恩哈德·西格蒙德3 ，弗洛里安·勒鲁1 ，萨比娜·希勒布兰特1,2 ，科恩·范德瓦尔3以及马尔特·C·盖瑟1,2 （这些应该是人名，数字可能表示其所在机构等相关编号之类的
本文分享一款最近做的滤光片项目，半高宽1nm，中心波长760nm，OD5@400~1000nm可用于光谱仪，窄线宽激光器，量子通信，气象雷达等领域我们提供定制镀膜服务(紫外（13.5nmMo/Si平面
本文分享一款最近做的滤光片项目，半高宽1nm，中心波长634nm，OD5@500~750nm可用于光谱仪，窄线宽激光器，量子通信等领域我们提供定制镀膜服务(紫外（13.5nmMo/Si平面反射镜（反射
摘要：本文介绍了一种优化193 nm抗反射（AR）涂层在强曲率球面基底上宽入射角（AOI）范围光谱性能的方法。该方法通过测量测试板上涂层厚度与石英晶体微天平上的涂层厚度之间的关系，修正了单层LaF3和
本文分享一款最近做的滤光片项目，半高宽0.4nm，中心波长1064.2nm，OD6@400-1100nm可用于光谱仪，宅线宽激光器，量子通信等领域我们提供定制镀膜服务(紫外（13.5nmMo/Si平面
作者Mariana Braic, Mihai Balaceanu, Viorel Braic机构罗马尼亚国家光电子研究所1. 引言知识型社会的持续发展带来了新的挑战，这些挑战源于信息资源的不
报告了Be层对Mo/Be/Si多层镜在极紫外（EUV）区域反射系数的影响。使用实验室和同步辐射反射率测量技术以及高分辨率透射电子显微镜对样品进行了研究。研究的样品在13.5 nm时的反射系数超过71%
马克斯·普朗克太阳系研究所，Justus-von-Liebig-Weg 3号，37077 哥廷根，德国b optiX fab有限公司，Hans-Knöll-Straße 6号，07745 耶拿，德国摘
作者信息：Anton Haase, Victor Soltwisch, Frank Scholze隶属：德国物理技术研究院（Physikalisch-Technische Bundesanstalt）
摘要我们对Mo/Si多层膜在波长为13.5 nm的EUV辐射下进行了1次脉冲（1-on-1）和10次脉冲（10-on-1）的损伤阈值研究。实验使用了以固体金为靶材的桌面激光等离子体光源。研究涉及不同类
摘要使用离子束沉积在硅晶片基底上制备了用于极紫外 (EUV) 光刻的 Mo/Si 多层膜。通过透射电子显微镜、二次离子质谱、原子力显微镜、光电子能谱、掠入射时的 X 射线反射率和近乎垂直入射时的 EU
上海陶藤电子科技有限公司
Auxcera（上海陶藤电子科技有限公司）创建于2022年，公司位于上海市宝山区，在中山，深圳设有研发中心，占地1000平方米，现有员工50余人。
公司创始团队来自国内顶尖高校，科研院所及海外知名镀膜企业，其中光学薄膜博士2名，我们专注于 半导体和光学薄膜工艺的开发，依托多类型先进的镀膜设备（Vecco Spectra/离子束溅射镀膜,北方华创 B630/真空蒸发镀膜,Ulvac/连续式磁控溅射镀膜,Optorun OWLS磁控溅射镀膜，Beneq/原子层沉积），先 进的检测设备（SEM,AFM，四探针，椭偏仪，Agilent Cary 7000,Zygo MST干涉仪），我们为半导体，消 费电子，AR/VR，仪器，激光雷达等领域提供可靠的，性能卓越的镀膜服务
