上海陶藤提供采用离子束溅射Mo/Si EUV波段反射镜,我们采用离子束溅射设备生产EUV反射镜,测试角度为6度,反射率大于60%,目前我们仓库有4片库存 ,其对应的反射率如下图所示。

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#1 EUV反射镜----测试数据 ,联系 销售获取


现有库存 6寸 8寸 



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上海陶藤电子科技有限公司

Auxcera(上海陶藤电子科技有限公司)创建于2022年,公司位于上海市宝山区,在中山,深圳设有研发中心,占地1000平方米,现有员工50余人。
公司创始团队来自国内顶尖高校,科研院所及海外知名镀膜企业,其中光学薄膜博士2名,我们专注于 半导体和光学薄膜工艺的开发,依托多类型先进的镀膜设备(Vecco Spectra/离子束溅射镀膜,北方华创 B630/真空蒸发镀膜,Ulvac/连续式磁控溅射镀膜,Optorun OWLS磁控溅射镀膜,Beneq/原子层沉积),先 进的检测设备(SEM,AFM,四探针,椭偏仪,Agilent Cary 7000,Zygo MST干涉仪),我们为半导体,消 费电子,AR/VR,仪器,激光雷达等领域提供可靠的,性能卓越的镀膜服务

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