原子层沉积镀膜设备
品牌:Beneq
型号:TFS-500
功能:TFS 500可处理多种类型的基板;芯片、平面物体、颗粒和多孔体材料,以及具有高纵横比特征的复杂3D物体。它还可以配备手动操作的装载锁,以提高芯片处理能力。不同类型的反应室可以很容易地安装在真空室内,从而可以针对每个客户应用优化每个反应室。
上海陶藤电子科技有限公司
Auxcera(上海陶藤电子科技有限公司)创建于2022年,公司位于上海市宝山区,在中山,深圳设有研发中心,占地1000平方米,现有员工50余人。
公司创始团队来自国内顶尖高校,科研院所及海外知名镀膜企业,其中光学薄膜博士2名,我们专注于 半导体和光学薄膜工艺的开发,依托多类型先进的镀膜设备(Vecco Spectra/离子束溅射镀膜,北方华创 B630/真空蒸发镀膜,Ulvac/连续式磁控溅射镀膜,Optorun OWLS磁控溅射镀膜,Beneq/原子层沉积),先 进的检测设备(SEM,AFM,四探针,椭偏仪,Agilent Cary 7000,Zygo MST干涉仪),我们为半导体,消 费电子,AR/VR,仪器,激光雷达等领域提供可靠的,性能卓越的镀膜服务