上海陶藤提供采用离子束溅射Mo/Si EUV波段反射镜，我们采用离子束溅射设备生产EUV反射镜，测试角度为6度，反射率大于60%，目前我们仓库有4片库存 ，其对应的反射率如下图所示。
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现有库存 6寸 8寸
上海陶藤电子科技有限公司
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