原子层沉积镀膜设备

品牌：Beneq

型号：TFS-500

功能：TFS 500可处理多种类型的基板；芯片、平面物体、颗粒和多孔体材料，以及具有高纵横比特征的复杂3D物体。它还可以配备手动操作的装载锁，以提高芯片处理能力。不同类型的反应室可以很容易地安装在真空室内，从而可以针对每个客户应用优化每个反应室。